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导电率测定用电极

电导率电极

    涂于石英基板上的铂金端子作为电流提供电极和电位差探测电极。测定电位差的电极的间距,可在 40 µm( 微米 ) 至250 µm 之间进行调整。在导电性高分掺杂而产生的绝缘体-金属过渡的原位测量时,低掺杂域的绝缘相导电率用2端子测量法,高掺杂域的金属层用4端子测量法。

  • 使用四端子测量法进行高精密薄膜厚度测量和电阻率的测量
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    作为载流电极和电势差测量电极的各个铂金属端子沉积在熔融石英基板上,通过连接端子的改变,电势差测量用电极之间的间距,可以在40 µm 至250 µm 之间进行调节。

    电导率测定用电极的铂金属层(白金层)厚 900 Å, 下面有一层100 Å 厚的汰金属粘合层,因而在石英基板上涂层的总厚度为1000 Å 。电势差测量电极宽度为10 µm,电极之间的间距是10,20,30,50和100 µm。另外,载流电极的宽度为1.0 mm电极,两电极之间的间距为470 µm。

    电极结构示意图中, A和H分别为电流承载电极端子,B至G为电势差测量电极端子。改变B至G之间的端子连接,电势差测量电极之间的间距可以在10 µm(最小值)至250 µm(最大值)之间变换。

 
导电率测定用电极结构示意图
导电率测定用电极的电极间距示意图
 

各个电极端子之间的距离(µm)

A B C D E F G H
A - - - - - - - 470
B - - 40 140 10 80 250 -
C - 40 - 90 20 30 200 -
D - 140 90 - 120 50 100 -
E - 10 20 120 - 60 230 -
F - 80 30 50 60 - 160 -
G - 250 200 100 230 160 - -
H 470 - - - - - - -

电极有带接头薄片和无接头薄片的两种类型。带接头薄片的电极在安装时,可简便地使用 印刷电极用接头(产品编号 011839)和 印刷电极用 IC 夹子 (产品编号 011840)进行快速连接。

另一种无接头薄片的电极,则需要用户自己设法进行安装连接准备。

产品编号 品名 数量
011316 电导率测定用电极 1
011598 电导率测定用电极(无接头薄片 ) 3
测定用 电导率测定用电极 带接头薄片和无接头薄片的外形差异


可选购品项

产品编号 品名
011839 光刻电极用接头
011840 光刻电极用 IC 夹子 (4 个 )


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